的说了句:“还是光刻机的问题吗?”
“有euv光刻机当然好,问题应该不是很大。”
孟松摇了摇头,解释道:“现在我们最先进的光刻机用的是深紫外光源,arf线光刻胶就能够满足制程需要,但现阶段我们用的arf线光刻胶是湿法工艺,做单芯片问题不大,但做双叠加芯片就容易出现电路坍塌的问题,这一部分我们还在想办法攻克,或是寻找开发干式光刻工艺。”
柯蓝深吸了一口气,没有说话了。
而两人在这边说着话的时候,线体上已经有条不紊的开始了华科新材的新arf线光刻胶的涂布工序,开始进入了光刻环节。
几人观看了一阵,见工序正常进行,除了必要的技术人员跟进执行以及华科新材的人全程跟进之外,大部分人就结束了看现场,走出了车间,在外面会议室一边工作一边等待结果。
一天很快就过去了。
晚上,加班加点等待的众人正祈祷着一切顺利之时,一个坏消息从车间传了出来。
“各位领导,电路图案清晰度不够!分辨率不够!”
华芯国际的技术人员介绍了情况,说了自己的判断结果,然后问道:“后面的测试还要继续进行吗?”
这时,从车间走出来的华科新材一行人紧随其后走进了会议室,个个脸上都明显的流露出失落、沮丧的神情。
作为专业人士的他们,知道了这个结果后,也知道了后面的测试都不用进行了。
果然,他们很快就听到华芯国际技术老大孟松果断的否定:“不用了,清晰度和分辨率都不够,生产出来的晶圆都是不达标的。”
“好的!”
见老大发话了,这名技术人员立即应了一声,然后就下去了。
会议室内,三方人员互相看了看,在经过了短暂的沉默后,华科新材的老板强打精神笑道:“感谢孟总和余总、还有柯总的大力支持,这次的失败是我们材料性
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