他们的离子抛光机进行调试了,现在来看,这是成功了?
他们所使用的离子抛光机也是他们自行研发的,也就有着这个离子抛光机的全套资料,所以对其进行升级换代也并不困难。
现在过去了这么久,莫非是好了?
接通了电话,他便开口道:“罗院士,怎么了?是抛光机的事情吗?”
电话那边传来了笑声:“哈哈哈,不止!可不仅仅只是抛光机,我们连抛光都已经完成了!”
“抛光已经完成了?你的意思是说,镜片已经完成了抛光?”
“对啊!”罗刚宪笑得十分开心,“林教授,您可真是神了啊!我们用上了你那个数学模型之后,我们这离子抛光机简直就跟自动追踪定位一样,随随便便就能把镜片上那些红色跟蓝色区域给磨平了!”
“现在,我们已经抛光出了两块皮米级的光学镜片,一块表面精度在80pm-rms,另一块更是50pm-rms!”
听到这个消息,林晓顿时为之高兴起来,这样一来,他们华国也将拥有世界最顶级的抛光技术了!
这个光刻机中最关键的技术之一,在他们手上正式得到了突破!
林晓笑着道:“干的好!罗院士,咱们再多打磨几块出来,让外国人开开眼!”
“当然!”
罗刚宪回应一声,而后两人也不再多说,挂了电话。
林晓的心情也随之变好了起来。
光学镜片搞定,剩下的就是光源以及双工作台这两个问题了。
双工作台主要还是精度上的问题,他们当前的精密技术并不能保证其始终稳定,不过随着编码器的更新,双工作台也迟早能够实现突破。
至于光源的问题,因为林晓脑海中有着来自阿斯麦尔euv光刻机的成熟方桉,所以对他来说这就更不是问题了,他所需要做的就是,对这
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