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第259章 p型、n型、共掺杂(4 / 8)

(111)面单晶金刚石衬底表面抛光难、缺陷多、尺寸小来说,(100)面取向衬底表面具有原子级的平整程度,缺陷小,外延膜质量也优于(111)面衬底金刚石……”

“可这也并不是绝对的,而且晶面的问题,也不是最为关键的因素……”

想到这,陈舟手中的笔停了下来,习惯性的在草稿纸上点着点。

这是陈舟思路受阻时的表现。

“再梳理一遍文献资料……”

这样想着的陈舟,放下了手中的笔,将目光再次移向电脑屏幕。

手中鼠标的滚轮不断滑动,屏幕上的内容也在不断变化。

但陈舟的眼睛却一眨都不眨。

这些内容,他已经过了一遍了。

现在再看,只是寻找自己有没有漏掉的地方。

好给自己受阻的思路,打开一个缺口。

“磷的掺杂浓度?”

“电子散射机制?”

“不是这部分的内容……”

“……1.7ev?”

“怎么把这个数据忘了!”

看到这个内容时,陈舟的双眼瞬间明亮起来。

n型掺杂,或者说磷掺杂金刚石,之所以难。

是因为磷原子比碳原子大,很难嵌入金刚石晶格。

当磷原子进入金刚石晶格内,会引起晶格扭曲,影响金刚石中的构型、键型和电荷分布。

磷掺杂金刚石中存在大量空位,也会与磷原子形成结合力很强的磷—空位缺陷。

这种缺陷的能级位于金刚石导带底约1.7ev的位置上,可以补偿施主,阻碍磷原子的电离。

进而导致难以获得高质量的磷掺杂金刚石薄膜。

虽然磷的能级位于导带底以下0.58ev,但是这种缺陷却还是存在。

“缺陷的

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