沈靖又转过头去和吴博士小声交流着。
陈舟却把注意力转移到了实验装置上。
刚才,吴博士的话提醒了他。
在金刚石掺杂实验中,载流子浓度,会影响霍尔迁移率。
而霍尔迁移率便直接反应着金刚石中硼元素的掺杂程度。
此外,硼元素的掺杂,是通过向mpcvd法制备金刚石薄膜的反应室中加入硼源来实现金刚石的硼掺杂的。
硼源的话,一般会采用含硼的气体,像b2h6和b(ch3)3。
当硼的掺杂浓度较高时,制备的金刚石掺杂是包含了许多点缺陷、线缺陷和面缺陷的。
这些缺陷会捕获载流子,影响金刚石材料的霍尔迁移率,进而影响制备的硼掺杂金刚石。
“果然,无论是金刚石薄膜本身的制备,还是掺杂实验下的单晶金刚石的制备,都是矛盾的实验……”陈舟心里想到。
想了想,陈舟跟吴博士说了一声,便去n型掺杂实验那边了。
正如吴博士所说,n型掺杂比p型掺杂要难得多。
对于p型掺杂,还能参考这自然界的样本。
但是n型掺杂,只能不断摸索。
说起来,n型掺杂的磷元素,就是从氮元素、硫元素、锂元素这些,一步步摸索过来的。
磷的共价键半径是碳的1.4倍,能级位于导带底以下0.58mev。
因为这些性质,磷在金刚石薄膜中可以形成浅能级,所以是实现金刚石n型掺杂的理想元素。
但是,n型磷掺杂金刚石的载流子迁移率仍然是远低于p型硼掺杂。
陈舟找到了彭飞,轻声问道:“实验进行的怎么样?”
彭飞指了指正在进行中的实验装置:“还行吧,和前几次没多大差别。”
顿了顿,他看着陈舟,笑着
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