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第225章 摇人帮忙(为阿歷加更3)(3 / 5)

实也都是基于cvd法的基础上,进行改进的。

【热丝cvd法(hfcvd)制备金刚石膜】

这篇文献对于hfcvd法制备金刚石膜的介绍比较全面。

虽然这种方法是cvd法的鼻祖,但是现在使用的仍然非常普遍,而且发展成沉积金刚石薄膜较为成熟的方法之一。

这种方法需要在衬底上方设置金属热丝,常用的像钨丝、钽丝。

再将含碳气体高温加热到2000~2200c,进行分解,形成活性粒子。

在氢原子作用下,就会在衬底上沉积而形成金刚石。

这种方法,虽然简单,但是沉积效率很低,比四十三所现在用的方法要低很多。

不仅如此,而且工艺稳定性差,容易造成污染。

虽然文献中还提了两种改良的方法,但是陈舟同样不认同。

因为效率是提高了,但是金刚石薄膜的质量,还是太低。

对于金刚石半导体材料和器件的研究,显然不适用。

但是,改良方法,陈舟觉得可以一试。

一种是反应气体分送的hfcvd法,也就是把碳源气体和氢气由热丝的下方和上方分别送入。

另一种是电子助进的hfcvd法,通过给衬底加大约150v的偏压,实现沉积速率的提升。

陈舟看文献的速度很快,即使是一边看一边记的情况,他的效率也远远超过了其他人。

这也得益于他系统学科升级所提供的加成。

在来之前,他把化学也悄悄的升到了lv2,以备不时之需。

所以,有了化学学科等级的加成,陈舟疯狂的汲取着相关的化学知识。

和学数学物理不同的是,陈舟不打算用同样的方法去学化学和生物。

化学和生物这两门更偏向于实验和应用的学科

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