实也都是基于cvd法的基础上,进行改进的。
【热丝cvd法(hfcvd)制备金刚石膜】
这篇文献对于hfcvd法制备金刚石膜的介绍比较全面。
虽然这种方法是cvd法的鼻祖,但是现在使用的仍然非常普遍,而且发展成沉积金刚石薄膜较为成熟的方法之一。
这种方法需要在衬底上方设置金属热丝,常用的像钨丝、钽丝。
再将含碳气体高温加热到2000~2200c,进行分解,形成活性粒子。
在氢原子作用下,就会在衬底上沉积而形成金刚石。
这种方法,虽然简单,但是沉积效率很低,比四十三所现在用的方法要低很多。
不仅如此,而且工艺稳定性差,容易造成污染。
虽然文献中还提了两种改良的方法,但是陈舟同样不认同。
因为效率是提高了,但是金刚石薄膜的质量,还是太低。
对于金刚石半导体材料和器件的研究,显然不适用。
但是,改良方法,陈舟觉得可以一试。
一种是反应气体分送的hfcvd法,也就是把碳源气体和氢气由热丝的下方和上方分别送入。
另一种是电子助进的hfcvd法,通过给衬底加大约150v的偏压,实现沉积速率的提升。
陈舟看文献的速度很快,即使是一边看一边记的情况,他的效率也远远超过了其他人。
这也得益于他系统学科升级所提供的加成。
在来之前,他把化学也悄悄的升到了lv2,以备不时之需。
所以,有了化学学科等级的加成,陈舟疯狂的汲取着相关的化学知识。
和学数学物理不同的是,陈舟不打算用同样的方法去学化学和生物。
化学和生物这两门更偏向于实验和应用的学科
本网站为网友提供小说上传储存空间平台,为网友提供在线阅读交流、txt下载,平台上的所有文学作品均来源于网友的上传
用户上传的文学作品均由网站程序自动分割展现,无人工干预,本站自身不编辑或修改网友上传的内容(请上传有合法版权的作品)
如发现本站有侵犯权利人版权内容的,请向本站投诉,一经核实,本站将立即删除相关作品并对上传人ID账号作封号处理