外激光拿下了7nm工艺,令全球为之震撼,彻底打响了自己半导体领域第一天王山的名号。
所以中科光电所测试深紫外光源,高原一点意见都没有,这种光源虽然做不出顶级工艺,但胜在便宜啊,性价比高,并不是说高原拿出超紫外光源后,深紫外光源就不需要了。
合格的光刻机台,应该同时兼容好几种光源,好几种工艺,所以高原让中科光电所先测试深紫外光,打算等他们弄好了,再测试自己的超紫外。
谁知道光电所一整天下来,毫无进展,这让高原有点按捺不住了,提出让光电所的工程师休息一下,人有时候就是这样,越忙越忙,弄不好大家睡一觉,洗个热水澡,茅塞顿开,困难就解决了。
杜维明蹙眉道:“把光源发生器拆下来,再换上你们的,恐怕要大半天时间呢,要不再等等吧,光源又不是电灯泡,换来换去的很麻烦,而且每次拆装,精度还要再次校准。”
杜维明说的也是实话,光刻机又不是缝纫机,不能整天拆来拆去的,稍微一动,精度就要重新校准,很麻烦的。
高原来的时候,光电所的深紫外光源,就已经装在测试机台上了,否则高原一定会要求先测试自己的光源。
然而,这番对话让光电院的龚欣迎院长,脸色一阵红一阵白,有点坐不住了。
都是做科研的,龚院长虽然一向对昆仑集团敬佩有加,但这也太伤人了吧!
好像纯粹是因为太麻烦,才勉强让自己的光源留在机台上,要是拆装容易的话,早就把自己的光源拆下来扔了!
你们行?
那你们就上吧!
超紫外激光?
开什么玩笑呢!
难道还能比荷兰asml的极紫外更强!?
要知道,asml已经把波长干到了13.5nm,而传统深紫外光是193nm,两种光源之
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