,自然不会影响到电极的导电性能。
可如果厚度比较薄的时候,这个影响就明显了,厚度是10±10纳米,有些地方就直接断路了。
因此,现在蒸镀1纳米的金,9纳米的银的双层薄层电极,为了保证电极的连续性,不仅不能闪蒸,而且还要进一步压低蒸镀速率。
许秋计划选用的蒸镀速率是0.2埃每秒左右,和蒸镀三氧化钼传输层的速率相当,这样蒸1纳米的金,需要大约1分钟,9纳米的银,大约需要7分半钟,比平常蒸镀的时间还要短。
理论合理,实践开始。
许秋设置好金靶材的各项参数,包括密度、z因数等,然后启动电流加热装置,将电流输出端调至金靶材的回路,同时向莫文琳吩咐道:
“莫文琳,你记录一下实验条件,刚刚三氧化钼是565摄氏度,0.2-0.3埃每秒,膜厚是10纳米。接下来的金、银电极膜厚分别为1纳米和9纳米,计划蒸镀速率是0.2埃每秒……”
“好的。”莫文琳点点头,然后从蒸镀手套箱顶上摸出一本实验记录本出来,开始记录。
像这种大型仪器的使用都是需要记录的,要是出现问题比较容易追责,当然,也不完全是为了追责,这样做还能让实验人员不至于忘记之前的实验条件。
尤其是不熟练的新人,如果忘记了实验条件,旁边还没有老人可以请教,就可以自己翻一翻之前记录的条件进行模仿。
许秋旋转旋钮,缓缓的加大电流强度,从0安培到5安培,再到10安培,然后到15安培。
在这个过程中,膜厚仪显示的实时蒸镀速率都是在±0.01埃每秒之间来回跳动,波动幅度不大。
这主要是因为金的密度比较大,在膜厚仪通过晶振片上的电信号换算蒸镀速率时,密度是在分母上的,所以气流扰动等造成的误差就会变小。
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