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第二十一章 真空镀膜(下)(2 / 5)

轰鸣声传来。

“蒸镀操作的噪音有点大啊。”习惯了之前安静实验环境的许秋,忍不住吐槽道。

“是啊,不过慢慢你就会适应的。”陈婉清道。

机械泵启动后,气压计的示数快速减小。

从1.0e5,迅速变为3.2e4,然后是8.9e3,直至1e3帕左右,下降速度才开始变慢。

过了两分钟左右,压强终于降至20帕以下,许秋关闭超真空挡板阀,打开分子泵。

分子泵的转速要从0逐渐加速至27000r.p.m.后,它才可以正常工作,约需要耗时10分钟。

待分子泵运转平稳后,许秋打开束源炉挡板,然后启动束源炉的升温控制装置。

装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度,分别为27和30摄氏度。

他打开设定界面。

这块屏幕采用的是计算器上那种“日”字型的显示方法,主要用于数字显示,所以显示出来的字母都很抽象。

还好都是常用的单词,许秋花了点时间弄明白每个参数的意义后,手动设定升温程序:

sp1 30

rate 30

time 60

sp2 400

rate 30

time 3

sp3 520

rate 20

time 100

第一阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至30摄氏度,等待60分钟;

第二阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至400摄氏度,等待3分钟;

第三阶段,以20摄氏度每分钟的速率升至520摄氏度,等待100分钟。

确认无误后,他长按启动键,启动程序。

升温程序需要跑一个多

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