的国产arf i duv光刻机单台的每小时产能有较高的表现。
这极其需要攻克光刻机中的‘工件台’这一系统。
目前被梼杌拿着‘鞭子’督促来完成这一系统的是：清华大学。
而且要求实现双工件台——目前这是asml的绝活。
简略来说，光刻机核心部件主要涉及光源、镜头、工件台。
这些核心部件，国产领域都比较落后。
不过都在突破中，去年的重点是光源和镜头，通过对海外相关企业技术的海量收购、转化、掌控，在duv领域有了长足进步。
其中光源这方面，美利坚有个叫cymer的公司很厉害。
号称是euv光源中全球唯二生产厂商。
这两天业内有一桩沸沸扬扬的收购案：asml欲以约20亿欧元的价格收购cymer。
嗯……
早在去年年底，chin旗下的几个华尔街投资公司辗转通过各类渠道拿下了cymer的部分核心技术。
收购？
抱歉，chin实在太穷了，加一块都买不起这么值钱的公司。
还是梼杌来‘鞭策’申城的光机所去学习技术，转化掌握来得靠谱。
当然梼杌也不是什么都不做，光拿鞭子。
目前梼杌就在研究euv光源自主化，申城光机所则主要在解决duv光源系统的更多问题。
总而言之……
为了白泽半导体最终能全部用上国产设备、材料，前沿始终在不懈努力中。
“……”
不大会功夫，电瓶车缓行过一片略有人声的区域。
是方年也熟悉的地方：月产能3000片的晶圆试验线。
方年并未要求停下。
在苏姿丰的带领下，方年参观了庐州前沿的万
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