0 ℃,并且有碳源存在的电弧熔炉中,在高温下,碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应(碳与氧结合,剩下硅),得到纯度约为98%的纯硅,又称作冶金级硅。
这对微电子器件来说不够纯,因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感,因此对冶金级硅进行进一步提纯。
一般而言,冶金级硅的纯度98%左右,质量好的厂家,普遍能将纯度控制在98%以上。
唐飞走进生产厂房的时候,已经看到了王兴奎等人的身影,也看到了工人们在准备第二步工序,准备将冶金级的硅进行进一步的提纯,达到电子级硅的等级。
“老板,第一批冶金级硅已经生产制造出来,您看一看,这是检验报告!”
唐飞接过这份检验报告,一看就高兴的道:“好家伙,一炮打响,咱们生产的冶金硅的纯度达到了99%以上,了不起。”
王兴奎谦虚的道:“主要是我们生产设备好,生产工艺也还算不错。”
唐飞知道,除了这些方面的原因之外,还有一个重要的因素,那就是自己质量+2的UBFF在悄悄的发挥作用。
冶金级的硅质量都这么好,那最终生产制造出来的成品,也就是晶圆能达到什么样的质量程度呢。
这非常值得期待!
冶金级硅被堪称完美的生产制造出来,下一步就是生产制造电子级硅。
将粉碎的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化反应,生成液态的硅烷,然后通过蒸馏和化学还原工艺,得到了高纯度的多晶硅,也就是电子级硅。
在技术人员的指导下,工人们已经在开始电子级硅的生产制造。
第一批电子级硅也被成功的被生产制造出来,其纯度高达99.999999999%。然后是后续一系列的工序,直至生产制造出合格的晶圆。
这些天,唐飞基本上一直
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